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產(chǎn)品型號(hào)：

EX-3000

品牌：日本電測

產(chǎn)品簡介：

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本機(jī)能精確測量極細(xì)小物件鍍膜厚度,，可進(jìn)行單層及多層膜厚測定,、合金膜厚成份比同時(shí)測定及無素的光譜峰值測定分析,。

主要技術(shù)參數(shù)：

儀器特點(diǎn)：

搭載MS-WINDOWS系統(tǒng)（優(yōu)越的操作性與高精度測定）

使用與IBM PC兼容個(gè)人電腦，采用MS-WINDOWS軟體,，使用時(shí)多彩多姿。

采用二種濾波器

用用數(shù)位式濾波器外另有機(jī)械式濾波器（兩種濾波器）,，在測定時(shí),，若是*適當(dāng)?shù)臈l件下，

經(jīng)?？傻玫?高的精度,。

準(zhǔn)值儀5種孔徑內(nèi)藏式

*小的準(zhǔn)值儀孔徑僅0.1 mm，可測定極微小的部品,。

標(biāo)準(zhǔn)：0.1,0.2,0.5,1.0,2.0另備有2種特別規(guī)格可供選購,。

0.05,0.1,0.2,0.3,0.5

0.05*0.5,0.1,0.2,0.3,0.5

自動(dòng)測定測量臺(tái)

利用鼠標(biāo)來調(diào)整測量位置，非常敏捷快速,?；蚴菧y量位置已完成登陸時(shí)，可連續(xù)自動(dòng)測定,，

利用座標(biāo)補(bǔ)正,、連結(jié)頻道，來應(yīng)付各種測量軌跡,。亦可用自動(dòng)測定來作標(biāo)準(zhǔn)片校正,。

優(yōu)越的顯示機(jī)能

測定部顯示盡像的表示

X線照射部可由WINDOWS畫面上取得照射部的表示。從準(zhǔn)儀照射測定物的位置，可由倍率

率更機(jī)能來實(shí)現(xiàn)盡面上測出物放大,。

在膜厚測定中的能譜表示

由多頻分析器可快速處理能譜分析,。可執(zhí)行測定物的能譜分析表示,，操作簡單,。

提長資料處理的速度

充實(shí)測量報(bào)告的作成機(jī)能

采用MS-WINDOW軟件，測定畫的擷取,，非常簡便,，可充襯測量報(bào)告的制作機(jī)能?？赏瑫r(shí)間

隔處理多項(xiàng)工作,，機(jī)器在測量中亦可處理其它工作：包括如測量報(bào)告的制作。

測定物膜厚附著分布表示

以三次元圖案來表示測定物膜厚附著狀態(tài)的分布,，作判定時(shí)一目了然,。獲得安心的*保*性。

自己診斷機(jī)能及X線管保食機(jī)能

自己診斷機(jī)能,，迅速的對(duì)策來排除機(jī)器的因擾,。附有X線管的使用時(shí)間及耐久時(shí)間表示機(jī)能，

可加強(qiáng)保養(yǎng)的安全性,。

儀器詳細(xì)介紹：

1. X線源:油浸式1.2mA小型微小焦點(diǎn)X線管. 50kV管電壓,，可變管電壓。

2. 照射方式：由上而下垂直照射方式,。

3. 檢出器：比例計(jì)數(shù)管,。

4. 濾波器：采用 Co 和 Ni 雙濾波器及數(shù)字式濾波器，可單一或同時(shí)使用,。

5. 準(zhǔn)直儀：Collimator 采用五種孔徑一體成型式,，可自動(dòng)切換使用。

0.1,0.2,0.5,1.0,2.0φL.

(選購) 0.05×0.5,0.05,0.1,0.2,0.5φL.

(選購) 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5φL.

6. 樣品觀測系統(tǒng)：彩色CCD及高畫質(zhì)顯示屏,。

7. 多能譜分析器：使用256高頻分析器,，光譜自動(dòng)分析，在執(zhí)行測量及運(yùn)算時(shí),，非?？焖佟?/font>

貳. 計(jì)算機(jī)操作部:

8. 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)：(※僅供參考)

IBM 兼容中文個(gè)人計(jì)算機(jī).

CPU：Intel Celeron 1GHz.

RAM：128 MB.

Floppy Disk：3.5 ×1,， 40倍速 CD-ROM ×1.

Hard Disk：40 GB.

17" 高畫質(zhì)顯示屏.

EPSON彩色噴墨式打印機(jī),。

9. 本機(jī)型(CO**OS-1X系列)之操作系統(tǒng)采中文窗口(Windows98)對(duì)話式操作，非常簡便,。

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參. 特性說明:

10. 測量項(xiàng)目：

單層膜厚測定.

2層膜厚測定.

3層膜厚測定.

無電解鎳膜厚測定.

合金膜厚成份比同時(shí)測定.

元素的光譜峰值測定分析.

11. 測量材質(zhì)：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發(fā)法測量,。原子序22以下為吸收法測量。

12. 測量范圍：原子序22 ~ 24 ，約 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 ,，約 0.1 ~ 30 um. 原子序

41 ~ 51 ,，約 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 ，約 0.05~ 10 um.

13. 測量機(jī)能：

同一點(diǎn)重復(fù)測定機(jī)能

輸出形式設(shè)定.

能譜測定.

14. 測量條件或膜厚規(guī)格可以保存.

當(dāng)要測量相同的制品時(shí),，若測量條件已儲(chǔ)存，可以馬上進(jìn)行測量,。

*大檢量線檔案數(shù)：可登錄儲(chǔ)存100組檔案,。

*大測量檔案數(shù) ：可登錄儲(chǔ)存300組檔案。

15. 檔案記錄：

每一個(gè)批號(hào)可儲(chǔ)存無限個(gè)測量數(shù)據(jù).(因所使用的計(jì)算機(jī)之容量大小而定)

每一個(gè)測量檔案可輸入及儲(chǔ)存公司名稱.

每個(gè)批號(hào)可單獨(dú)執(zhí)行統(tǒng)計(jì)處理.

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每個(gè)測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線).

16. 數(shù)據(jù)處理：

統(tǒng)計(jì)值表示：平均值,、標(biāo)準(zhǔn)偏差,、*大值、*小值,、上下限值范圍,、Cp、Cpk,。

X-R 管制圖.

柱狀圖：有自動(dòng)設(shè)定及自己任意設(shè)定二種方式,。

可彩色打印觀物顯示屏上所觀測之圖像。

17. 底材補(bǔ)正：當(dāng)樣品與標(biāo)準(zhǔn)片的底材不同時(shí),，可作底材補(bǔ)正,。

18. 觀物顯示屏：十字刻度線的高分辨率彩色觀物顯示屏。

肆. 安全裝置.

19. 本機(jī)俱有自動(dòng)安全斷電系統(tǒng)功能.

20. 由鎖匙開關(guān)來控制X 線輸出,，以防止外人任意操作.

伍. 其它機(jī)能.

21. 密碼辨識(shí)功能

22. 裝置維護(hù)調(diào)整.

23. 測量部主機(jī)：尺寸：362(W) ×425(D) ×486(H) L.

重量：約 44.2 Kg.

24. 操作部：(※僅供參考)

計(jì)算機(jī)尺寸：180(W) ×420(D) ×360(H) L.

重量：約 8.8 Kg.

顯示屏尺寸：360(W) ×420(D) ×370(H) L.

重量：約16.5 Kg.

打印機(jī)尺寸：500(W) ×250(D) ×300(H) L.

重量：約 4.3 Kg.

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柒. X-Y-Z軸可移動(dòng)式測量臺(tái).

25. 測量臺(tái)尺寸及移動(dòng)量.

測量臺(tái)尺寸 170 (W) ×100 (D) L

移動(dòng)量(X-Y-Z軸) 70 ×70 ×50 L.

26. 測量樣品限制.

樣品限制高度： 45L

樣品限制重量： 3 Kg.

捌. 使用電源.

27. 電壓: AC100V ±10V ,； 50/60Hz

(選購) AC110V， AC220V.

28. 容量: 700V

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