UV紫外臭氧清洗過程提供一種簡單,，經(jīng)濟,，快速獲得超潔凈的表面，去除大多數(shù)無機基材（比如石英，硅片,，金,，鎳，鋁,，砷化鎵,，氧化鋁*等）上的有機污染物。特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時,，紫外清洗非常理想,。獲得超潔凈的表面，只需要在傳統(tǒng)清洗后,，再用紫外臭氧清洗過程幾分鐘就可以啦,。

紫外臭氧清洗可以去除：
皮膚油脂，有機硅油和油脂,，助焊劑,，殘留的光刻膠，膠水溶劑,，碳等,。

怎樣說是“超”潔凈？
接觸角測量方法4－5度,。適用AES和ESCA測量細微的峰值,。使用蒸汽測試，在冷凝和蒸發(fā)時形成一致的彩虹裝的條紋,。通常情況下,，使用清洗或是超聲清洗工序后，清潔關(guān)鍵表面認為完成,。紫外臭氧清洗提供一種新的清洗尺度,。在傳統(tǒng)清洗工序后加入紫外清洗的應(yīng)用，產(chǎn)品的性能和可靠性的提升不斷的證明這種新的清洗尺度的價值,。

紫外臭氧清洗工作原理：
UVOCS清洗設(shè)備的核心是低壓石英汞燈,，產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產(chǎn)生,，有機污染物分子在吸收254nm波長紫外線后被激發(fā)或分解,。激發(fā)的有機污染物可以和等離子氧原子反應(yīng)形成氣體，比如CO2,H2O等,。整個過程在室溫**發(fā)生,，并且只需要1到幾分鐘完成。

*注1：白色氧化鋁暴露在UV能量下會變黃,。這種現(xiàn)象是由于基材吸收UV能量,， 而不是一種涂層,。這種氧化鋁在加熱情況下會轉(zhuǎn)化為他原來的顏色。
**注2：清洗元件溫度的上升取決清洗過程的時間長度,。在大多數(shù)應(yīng)用,，元件溫度可以視為室溫。

關(guān)鍵特性:
·間歇式燈泡工作方式,。燈和定時器通過關(guān)閉門來觸發(fā),。
·滑行部件托盤－光滑－低震動，滾珠軸承系統(tǒng)－高度到1.5英寸,。
·堅固耐用,，全部不銹鋼結(jié)構(gòu)
·長壽命。低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nm UV,，促進快速氧化,，去除微量的有機殘留物。
·全面UV保護讓設(shè)備操作更安全,。
·更低設(shè)備采購成本和操作成本,。
·0-999秒/分鐘/小時定時器，能夠精確控制,。燈和定時器通過門關(guān)閉來觸發(fā),。
·臭氧排氣護罩：UVOCS托盤型號有一個臭氧護罩，可以允許UVOCS清潔設(shè)備放在你的生產(chǎn)線或是設(shè)備,，和過程相關(guān)設(shè)備放在一起,。這會使得材料的再污染*小化。一個3英寸排氣出口內(nèi)置在護罩的后面,，可以連接到你的排氣系統(tǒng),。沒有提供排氣風扇。*小排氣量需求為100CFM.(立方英尺/分鐘)
·在操作過程結(jié)束時有蜂鳴聲,。
·UV "ON"指示燈和可見窗口。
·操作簡單：設(shè)定定時器,，打開門,，抽出托盤，將元件放在托盤上,。將托盤滑入并關(guān)閉門,。在清洗操作過程結(jié)束有蜂鳴聲。打開門,，移開全部的清洗元件,。