UV紫外臭氧清洗過程提供一種簡單,，經(jīng)濟(jì),，快速獲得超潔凈的表面，去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英,，硅片,，金，鎳,，鋁,，砷化鎵，氧化鋁*等）上的有機(jī)污染物,。特別是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時(shí),，紫外清洗非常理想。獲得超潔凈的表面,，只需要在傳統(tǒng)清洗后,，再用紫外臭氧清洗過程幾分鐘就可以啦。

紫外臭氧清洗可以去除：
皮膚油脂,，有機(jī)硅油和油脂,，助焊劑，殘留的光刻膠,，膠水溶劑,，碳等。

怎樣說是“超”潔凈,？
接觸角測量方法4－5度,。適用AES和ESCA測量細(xì)微的峰值。使用蒸汽測試,，在冷凝和蒸發(fā)時(shí)形成一致的彩虹裝的條紋,。通常情況下，使用清洗或是超聲清洗工序后,，清潔關(guān)鍵表面認(rèn)為完成,。紫外臭氧清洗提供一種新的清洗尺度。在傳統(tǒng)清洗工序后加入紫外清洗的應(yīng)用,，產(chǎn)品的性能和可靠性的提升不斷的證明這種新的清洗尺度的價(jià)值,。

紫外臭氧清洗工作原理：
UVOCS清洗設(shè)備的核心是低壓石英汞燈，產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線,。臭氧和等離子氧氣產(chǎn)生,，有機(jī)污染物分子在吸收254nm波長紫外線后被激發(fā)或分解。激發(fā)的有機(jī)污染物可以和等離子氧原子反應(yīng)形成氣體，比如CO2,H2O等,。整個(gè)過程在室溫**發(fā)生,，并且只需要1到幾分鐘完成。

*注1：白色氧化鋁暴露在UV能量下會(huì)變黃,。這種現(xiàn)象是由于基材吸收UV能量,， 而不是一種涂層。這種氧化鋁在加熱情況下會(huì)轉(zhuǎn)化為他原來的顏色,。
**注2：清洗元件溫度的上升取決清洗過程的時(shí)間長度,。在大多數(shù)應(yīng)用，元件溫度可以視為室溫,。

關(guān)鍵特性:
·間歇式燈泡工作方式,。燈和定時(shí)器通過關(guān)閉門來觸發(fā)。
·滑行部件托盤－光滑－低震動(dòng),，滾珠軸承系統(tǒng)－高度到1.5英寸,。
·堅(jiān)固耐用，全部不銹鋼結(jié)構(gòu)
·長壽命,。低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nm UV,，促進(jìn)快速氧化，去除微量的有機(jī)殘留物,。
·全面UV保護(hù)讓設(shè)備操作更安全,。
·更低設(shè)備采購成本和操作成本。
·0-999秒/分鐘/小時(shí)定時(shí)器,，能夠精確控制,。燈和定時(shí)器通過門關(guān)閉來觸發(fā)。
·臭氧排氣護(hù)罩：UVOCS托盤型號(hào)有一個(gè)臭氧護(hù)罩,，可以允許UVOCS清潔設(shè)備放在你的生產(chǎn)線或是設(shè)備,，和過程相關(guān)設(shè)備放在一起,。這會(huì)使得材料的再污染*小化,。一個(gè)3英寸排氣出口內(nèi)置在護(hù)罩的后面，可以連接到你的排氣系統(tǒng),。沒有提供排氣風(fēng)扇,。*小排氣量需求為100CFM.(立方英尺/分鐘)
·在操作過程結(jié)束時(shí)有蜂鳴聲。
·UV "ON"指示燈和可見窗口,。
·操作簡單：設(shè)定定時(shí)器,，打開門，抽出托盤,，將元件放在托盤上,。將托盤滑入并關(guān)閉門。在清洗操作過程結(jié)束有蜂鳴聲,。打開門,，移開全部的清洗元件,。