臺階儀

( 厚度47nm光柵標(biāo)準(zhǔn)樣品,三次重復(fù)測量結(jié)果(無任何減噪修正，原始數(shù)據(jù)輸出）

NanoMap-PS是一款專門為nm*薄膜測量研發(fā)的無需防震臺即可測量的接觸式臺階儀

• AFM同款位移傳感器,，超高精度

• 壓電陶瓷驅(qū)動掃描,，**無內(nèi)源振動

• 自集成主動反饋式防震系統(tǒng)

• 真正無需額外輔助防震系統(tǒng),，實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性納米測量

• 納米量*科學(xué)研究的**產(chǎn)品

NanoMap-PS 臺階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體，光伏/太陽能,，光電子,，化合物半導(dǎo)體，OLED,，生物醫(yī)藥,，PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度，臺階高度,，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...）,，劃痕深度，磨損深度,，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量方面,。其高精度，高重復(fù)性,，自動探索樣品表面,，自動測量深受廣大客戶歡迎。

測量表面可以覆蓋多種材料表面：金屬材料,、陶瓷材料,、生物材料、聚合物材料等等,，對于植物表面,，生物材料，聚合物表面,，光刻膠等“柔軟表面”也可測量無須擔(dān)心劃傷或破壞,。設(shè)備傳感器精度高，穩(wěn)定性好,。熱噪聲是同類產(chǎn)品*低的,。垂直分辨率可達(dá)0.1nm 。 可測表面,，包括透明,、金屬材料，半透明,、高漫反射,，低反射率、拋光,、粗糙材料,，金屬、玻璃,、木頭,、合成材料、光學(xué)材料,、塑料,、涂層、涂料,、漆,、紙、皮膚,、頭發(fā),、牙齒等；

AEP的技術(shù)日新月異,。 欲了解*新的產(chǎn)品性能參數(shù),，請與我們聯(lián)系。

主要參數(shù) :

垂直分辨率             0.1nm

垂直*大量程         1000um
探針接觸力             0.03mg-100mg

平臺范圍                 直徑150毫米（可選200毫米或更大）
高清圖像                  4*放大,，彩色CCD
成像光源                  雙長壽命強(qiáng)光LED

金剛石探針               0.5um 到 25um 可選