低溫等離子廢氣處理設(shè)備已經(jīng)還廣泛的應(yīng)用于環(huán)境保護(hù),、包裝、紡織,、塑料制品、汽車制造,、電子設(shè)備制造,、家電制造、計(jì)算機(jī)制造、手機(jī)制造,、生物材料,、衛(wèi)生材料、醫(yī)療器皿,、殺菌消毒,、環(huán)保設(shè)備、石油天然氣管道,、供暖管道,、化工子、半導(dǎo)體,、航空航天等行業(yè)中,。

該技術(shù)顯著特點(diǎn)是對(duì)污染物兼具物理效應(yīng)、化學(xué)效應(yīng)和生物效應(yīng),，且有能耗低,、效率高、無(wú)二次污染等明顯優(yōu)點(diǎn),。

其凈化作用機(jī)理包含兩個(gè)方面：一是在產(chǎn)生等離子體的過(guò)程中,，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能足夠打開(kāi)一些有害氣體分子的化學(xué)能，使之分解為單質(zhì)原子或無(wú)害分子,；二是等離子體中包含大量的高能電子,、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的自由基,，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結(jié)合,，在電場(chǎng)作用下，使臭氣分子處于激發(fā)態(tài),。當(dāng)臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時(shí),，臭氣分子的化學(xué)鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無(wú)害氣體分子,。同時(shí)產(chǎn)生的大量·OH,、·HO2、·O等活性自由基和氧化性極強(qiáng)的O3,，與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng),，*終生成無(wú)害產(chǎn)物。

低溫等離子體中的高能電子可使電負(fù)性高的氣體分子（如氧分子,、氮分子）帶上電子而成為負(fù)離子,，它具有許多良好的健康效應(yīng)，對(duì)人體及其他生物的生命活動(dòng)有著十分重要的影響,，被人們譽(yù)為“空氣維生素”,、“長(zhǎng)壽素”,。

低溫等離子體的凈化作用還具備顯著的生物效應(yīng)。發(fā)生的靜電作用在各種細(xì)菌,、病毒等微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于細(xì)胞膜表面張力,，使細(xì)胞膜遭到破壞，導(dǎo)致微生物死亡,。因此低溫等離子體除臭技術(shù)具有優(yōu)秀的消毒殺菌之功效,。

以上所述顯示，低溫等離子體技術(shù)不僅可以凈化空氣,，同時(shí)還可以消毒殺菌,，從而使空氣維持在自然、清新的狀態(tài),。這是其他任何技術(shù)方法所無(wú)法比擬的,。

低溫等離子體凈化技術(shù)是近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的另一種廢氣治理新技術(shù)。低溫等離子體VOCs凈化技術(shù)利用介質(zhì)放電產(chǎn)生的等離子體以極快的速度反復(fù)轟擊廢氣中的氣體分子,，去激活,、電離、裂解廢氣中的各種成分,，通過(guò)氧化等一系列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)橐恍┬》肿拥陌踩镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)闊o(wú)毒無(wú)害或低毒低害物質(zhì),。

低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場(chǎng)的作用下,，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離,、解離和激發(fā),，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng),，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹?jiǎn)單小分子安全物質(zhì),，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無(wú)毒無(wú)害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除,。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev，適當(dāng)控制反應(yīng)條件可以實(shí)現(xiàn)一般情況下難以實(shí)現(xiàn)或速度很慢的化學(xué)反應(yīng)變得十分快速,。