一,、 粘度選擇原則
選擇油品粘度是真空泵性能的重要因素之一,。液體的粘度是液體流動(dòng)的阻力,，或者說(shuō)是液體的內(nèi)摩擦力,。粘度越大,，各種部件運(yùn)動(dòng)速度的阻力就越大,，溫升增高,，功率損失大,；粘度太小，泵的密封性能變差,，引起氣體的泄漏,，真空變劣。因此各類(lèi)真空泵對(duì)油品粘度的選擇極為重要,，對(duì)油品粘度選擇的原則是：

1,、泵的轉(zhuǎn)速愈高，選擇油品的粘度愈低,。
2,、泵的轉(zhuǎn)子運(yùn)動(dòng)線速度愈大，選擇油品的粘度愈低,。
3,、泵部件的加工精度愈精或摩擦件之間的間隙愈小，選擇油品的粘度愈低,。
4,、真空泵在高溫工況使用時(shí),，選擇油品的粘度以大為宜。
有冷卻水循環(huán)的真空泵,，一般選用粘度較低的油品為宜,。
二,、推*真空泵油粘度范圍
根據(jù)上述這些原則,，對(duì)各類(lèi)真空泵用油的粘度范圍推*如下：
01、活塞式真空泵（W型）使用一般的機(jī)油即可,，用V100,、V150粘度等級(jí)的油品。
02,、旋片式真空泵（2X型）選用V68,、V100粘度等級(jí)油品。
03,、直聯(lián)（高速）旋片式真空泵（2XZ型）選用V46,、V68粘度等級(jí)油品。
04,、滑閥式真空泵（H型）選用V68,、V100粘度等級(jí)油品。
05,、余擺線真空泵（YZ,、YZR）選用V100、V150粘度等級(jí)油品,。
06,、羅茨真空泵（機(jī)械增壓泵）齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)的潤(rùn)滑，可選用V32,、V46真空泵油,。
07、其他類(lèi)型的真空泵,，可根據(jù)其轉(zhuǎn)速,、加工精度、極限真空等,，選用相對(duì)應(yīng)的油品,。
隨著信息科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品應(yīng)用層面愈益廣泛,車(chē)用及通訊用等電子產(chǎn)品持續(xù)發(fā)展。真空技術(shù)也隨之不斷創(chuàng)新,擴(kuò)展至包括PVD/CVD鍍膜制程,、靜電吸附盤(pán)及蝕刻制程等設(shè)備,在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)己占有舉足輕重的地位,。但是半導(dǎo)體工業(yè)在芯片加工過(guò)程中必須使用一些特殊的氣體與某些具有毒性的強(qiáng)氧化劑,因而要求在工藝加工過(guò)程中廣泛使用的真空泵及其用油具有非常優(yōu)越的適應(yīng)性。
通常用的真空泵油有兩種:碳?xì)浠衔镉团c全氟聚醚油(PFPE),。碳?xì)浠衔镉蜆O易燃燒,化學(xué)結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定,容易降解,使得潤(rùn)滑性能容易降低,從而易導(dǎo)致真空泵出現(xiàn)故障,。而PFPE由碳,、氧、氟原子組成,屬于耐腐蝕性氣體真空泵油分類(lèi)中的ISO-6743A-1987/DVB,、DVD,、VDF類(lèi)油品。該油品中的氫原子全部為氟原子取代,由其分子結(jié)構(gòu)特點(diǎn)決定,具有絕佳的熱穩(wěn)定性,、化學(xué)惰性,、不燃性。能夠在VF3,、PH3,、AsH3及其它鹵素化合物(BF3、BC13,、PC13,、TIC14、SnC14,、SIC14)等具有強(qiáng)腐蝕性的環(huán)境中保持穩(wěn)定,甚至在高溫下也有一定的抗腐蝕作用,。與常規(guī)的油品相比,不僅安全,而且使用壽命長(zhǎng)。PFPE可用于有制氧系統(tǒng)和有腐蝕氣體的半導(dǎo)體系統(tǒng)和強(qiáng)輻射的場(chǎng)合,尤其是針對(duì)半導(dǎo)體芯片加工過(guò)程中有特殊氣體及強(qiáng)腐蝕性化學(xué)物質(zhì)的蝕刻制程和沉淀過(guò)程,。

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