所謂等離子體是繼固體,、氣體、液體三態(tài)后,，列為物質的第四態(tài),，由正離子、負離子,、電子和中性離子組成,，因體系中正負電荷總數相等,，故稱為“等離子體”。

等離子體按粒子溫度可分為平衡態(tài)（電子溫度=離子溫度）與非平衡態(tài)（電子溫度>>離子溫度）兩類,。

非平衡態(tài)等離子體電子溫度可上萬度,，離子及中性離子可低至室溫，即體系表觀溫度仍很低,，故稱“低溫等離子體”,，一般由氣體放電產生。

低溫等離子體技術是近年發(fā)展起來的廢氣處理新技術,，低溫等離子凈化設備的原理為： 

當外加電壓達到氣體的放電電壓時,，氣體被擊穿，產生包括電子,、各種離子,、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子,、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用,，使污染物分子在極短的時間內發(fā)生分解，以達到降解污染物的目的,。

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下,，介質放電產生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離,、解離和激發(fā),，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應,，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|,，或使有毒有害物質轉變?yōu)闊o毒無害或低毒低害物質，從而使污染物得以降解去除,。因其電離后產生的電子平均能量在1eV～10eV,，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得十分快速。