所謂等離子體是繼固體、氣體,、液體三態(tài)后,，列為物質(zhì)的第四態(tài),，由正離子、負(fù)離子,、電子和中性離子組成,，因體系中正負(fù)電荷總數(shù)相等，故稱為“等離子體”,。

等離子體按粒子溫度可分為平衡態(tài)（電子溫度=離子溫度）與非平衡態(tài)（電子溫度>>離子溫度）兩類,。

非平衡態(tài)等離子體電子溫度可上萬(wàn)度,，離子及中性離子可低至室溫，即體系表觀溫度仍很低,，故稱“低溫等離子體”,，一般由氣體放電產(chǎn)生。

低溫等離子體技術(shù)是近年發(fā)展起來的廢氣處理新技術(shù),，低溫等離子凈化設(shè)備的原理為： 

當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí),，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子,、各種離子,、原子和自由基在內(nèi)的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子,、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用,，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，以達(dá)到降解污染物的目的,。

低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場(chǎng)的作用下,，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離,、解離和激發(fā),，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng),，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹?jiǎn)單小分子安全物質(zhì),，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)闊o(wú)毒無(wú)害或低毒低害物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除,。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在1eV～10eV,，適當(dāng)控制反應(yīng)條件可以實(shí)現(xiàn)一般情況下難以實(shí)現(xiàn)或速度很慢的化學(xué)反應(yīng)變得十分快速。