應(yīng)用領(lǐng)域

CKD化學液體用氣控閥專為半導體制造工廠的化學液體供給設(shè)備等設(shè)計的閥，可耐受高壓,、高背壓。可耐受供液管線的高壓,、高背壓,、大流量的0.7MPa規(guī)格。

安全性能

采用在滲透性、透過性強的高濃度,、高壓化學液體供給管線中使用也安全放心的設(shè)計,。排除金屬部件，更加安全放心,。同時采用可以防止過度擰緊,、錯誤分解的結(jié)構(gòu)，安全放心,。

產(chǎn)品特點

1.擴大使用壓力范圍,，通過采用新密封結(jié)構(gòu)，擴大使用壓力范圍,。

2.酸堿適用,，執(zhí)行器采用耐化學*性優(yōu)異的氟樹脂“PVDF”，標準型應(yīng)用非常廣泛,，酸堿同樣適用,。

3.擴大流體溫度范圍，大幅擴大使用流體溫度范圍（Max. 120℃）,，可選擇帶傳感器的類型,，通過信號確認閥的開閉情況。