超純水系統(tǒng)通過一系列復雜的工藝流程，將原水轉(zhuǎn)化為超純水,。以下是超純水系統(tǒng)的主要工作原理和組成部分：

預處理。原水*先經(jīng)過預處理單元,，通過過濾,、沉淀,、氣浮等方法去除水中的懸浮物,、泥沙,、有機物質(zhì)等雜質(zhì)。
反滲透,。預處理后的水進入反滲透（RO）裝置,，RO膜允許水分子通過，同時截留離子,、重金屬、有機物質(zhì)等,，從而得到較高純度的水,。
離子交換。反滲透后的水通過離子交換裝置進行處理,，離子交換樹脂可以去除水中的陽離子和陰離子,，如鈉離子、鈣離子,、鎂離子,、氯離子等，進一步提純水,。
終端處理,。為了去除可能存在的細菌、病毒和其他微生物,，純水系統(tǒng)通常會進行消毒處理,，如紫外線照射和化學消毒,。
儲存和送水。處理后的純水需要儲存,，并通過管道或其他方式送達使用點,。
此外，超純水系統(tǒng)還可能包括其他技術,，如電去離子（EDI）,，這是一種將電滲析和離子交換相結合的脫鹽新工藝，無需酸堿再生,，能夠連續(xù),、