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超純水概述
半導(dǎo)體,、集成電路芯片及封裝、液晶顯示,、高精度線路板,、光電器件、各種電子器件,、微電子工業(yè),、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水,、超純水清洗半成品,、成品,。集成電路的集成度越高,對(duì)水質(zhì)的要求也越高,。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子*水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm,、10MΩ.cm,、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,,以區(qū)分不同水質(zhì),。