功能用途

本產(chǎn)品利用渦流原理制造: 即被測蒸鋁層靠近高頻激磁磁場時, 感應(yīng)產(chǎn)生渦電流, 因而產(chǎn)生渦流磁場, 此渦流磁場反作用于原來激磁磁場, 使傳感器阻抗發(fā)生變化, 然后通過檢測電路并進(jìn)行放大, 輸出與厚度相對應(yīng)模擬電壓,。

技術(shù)參數(shù)

可測量范圍與量程

被測薄膜尺寸：100mm±10%×200mm±10%

測量量程    ：厚度90～800Å （0.009～0.08µm）  方阻95～0.47Ω/□

精確度

測量準(zhǔn)確度  ：厚度 ±(20Å+2%讀數(shù))  方阻 ±0.15Ω/□（在300～500Å范圍）

讀數(shù)重現(xiàn)性  ：10Å  (同一測量點(diǎn))

儀器尺寸 ：120 x 320 x 400（毫米）

重量     ：毛重7公斤

配置

鍍鋁膜測厚儀壹臺

校正片一片

電源線一根