鍍鋁膜測厚儀利用渦流原理制造：即被測蒸鋁層靠近高頻激磁磁場時,， 感應產生渦電流,， 因而產生渦流磁場,， 此渦流磁場反作用于原來激磁磁場， 使傳感器阻抗發(fā)生變化,， 然后通過檢測電路并進行放大,， 輸出與厚度相對應模擬電壓。 

技術參數(shù) 

可測量范圍與量程    

被測薄膜尺寸：100mm±10%×200mm±10%  

測量量程：厚度90～800Å （0.009～0.08µm） 方阻95～0.47Ω/□  

精  確  度    

測量準確度：厚度 ±(20Å+2%讀數(shù)) 方阻 ±0.15Ω/□（在300～500Å范圍）  

讀數(shù)重現(xiàn)性 ：10Å (同一測量點) 

儀器尺寸：120 x 320 x 400（毫米）  

重　　量 ：毛重7公斤