激光干涉儀可對機床,、三測機及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標準測量各項參數(shù),，如線形位置精度,、重復定位精度,、角度、直線度,、垂直度,、平面度及平行度等。另外,，它還具有若干為機床廠商和用戶所歡迎的選擇功能,，如自動螺距誤差補償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機床動態(tài)特性測量與評估,，回轉(zhuǎn)坐標分度精度標定,，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等,。

激光干涉儀的功能有以下幾方面：
1.自動螺距誤差補償,。激光干涉儀不僅能自動測量機器的位置精度，而且還能通過RS232接口使計算機和數(shù)控系統(tǒng)實現(xiàn)通信,，對誤差進行自動補償,。它比通常的手工補償方法節(jié)省了大量的時間，同時可*大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),，使機床達到*佳精度,。
2.回轉(zhuǎn)坐標精度標定?；剞D(zhuǎn)坐標分度精度標定可對數(shù)控轉(zhuǎn)臺在任意角度位置,，以任意測量間隔進行自動測量及補償。
3.機床動態(tài)特性測試與評估,。利用中圖動態(tài)特征測量與評估軟件,，可用干涉儀進行杌床振動測試與分析、滾珠絲杠的動態(tài)特性分析,、伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析,、導軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等，從而幫助用戶對機器源進行分析,。
4.觸發(fā)脈沖輸入,、輸出功能。利用觸發(fā)脈沖輸入,，可實現(xiàn)外部控制激光干涉儀記錄數(shù)據(jù),，從而可實現(xiàn)類似于激光絲杠動態(tài)精度檢查儀的功能或機床傳動鏈精度檢查功能。利用觸發(fā)脈沖輸出,，可用激光干涉儀定時或定距發(fā)出脈沖,，從而實現(xiàn)類似于激光光刻機的功能。
5.其他用戶接口裝置,?？捎弥袌D公司提供的特殊接口軟件,，對于現(xiàn)有某些*牌的電子水平儀或數(shù)字指示儀器的用戶，配合中圖激光干涉儀校準軟件,，實現(xiàn)直線度,、平面度及垂直度等幾何精度的檢測，從而節(jié)省用戶投資費用,。

中圖儀器激光干涉儀技術參數(shù)：

系統(tǒng)性能
測量方式：單頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
預熱時間：約6分鐘
工作溫度范圍：0~40℃
環(huán)境溫度范圍：0~40℃,，環(huán)境濕度：0~95%
存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃),，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃),，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測量
測量距離：0-40m
測量精度：0.5ppm (0-40℃)
測量分辨率：1nm
測量*大速度：4m/s