SuperViewW系列白光干涉3d形貌測量儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進行納米*測量的儀器,，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量,。

SuperViewW系列白光干涉3d形貌測量儀以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米*別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D,、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品功能

(1)白光干涉3d形貌測量儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

(3)測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能,；

(4)分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應(yīng)用范例：

W系列3d輪廓儀的自動拼接測量功能,，不管是在粗糙或是光滑,、異形或是平面結(jié)構(gòu)，當(dāng)要測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域的時候,，可以根據(jù)不同表面特點進行重建算法的切換,。它具有測量精度高、操作便捷,、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短,，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量,。

部分技術(shù)指標(biāo)

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