激光干涉儀是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行測(cè)量的儀器。激光干涉儀是20世紀(jì)60年代末期問(wèn)世的一種新型的測(cè)量設(shè)備,，由美國(guó)HP公司研制成功并于1970年投入市場(chǎng)，隨即受到了相關(guān)行業(yè)特別是機(jī)床制造業(yè)的重視,，其主要在：線(xiàn)形,、角度、垂直度,、直線(xiàn)度,、平面度等方面上應(yīng)用。隨著激光干涉儀測(cè)量技術(shù)的不斷提高,，測(cè)量軟件的不斷開(kāi)發(fā)其測(cè)量范圍越來(lái)越廣泛,，特別是在測(cè)量數(shù)控機(jī)床位置精度方面用途*為廣泛。

國(guó)產(chǎn)激光干涉儀代表為中圖儀器SJ6000激光干涉儀,。SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器,、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì),、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量,。通過(guò)激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(約6分鐘),、高精度(0.05ppm),、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,，采用不同的光學(xué)鏡組可以測(cè)量出線(xiàn)性,、角度、直線(xiàn)度,、平面度和垂直度等幾何量,，并且可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。

激光干涉儀工作原理（SJ6000）

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線(xiàn)性干涉鏡,，然后分成兩道光束,，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而**道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入**個(gè)反射鏡,，這兩道光束再反射回到分光鏡,，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見(jiàn)圖）,。若光程差沒(méi)有變化時(shí),，探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào),。

若光程差有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí),，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào),，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。

國(guó)產(chǎn)激光干涉儀（SJ6000）技術(shù)參數(shù)：

系統(tǒng)性能
測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
預(yù)熱時(shí)間：約6分鐘
工作溫度范圍：0~40℃
環(huán)境溫度范圍：0~40℃,，環(huán)境濕度：0~95%
存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃),，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線(xiàn)性測(cè)量
測(cè)量距離：0-40m
測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)
測(cè)量分辨率：1nm
測(cè)量*大速度：4m/s