SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì),、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng),、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量,。通過(guò)激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),，實(shí)現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm),、抗干擾能力強(qiáng),、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組可以測(cè)量出線性,、角度,、直線度、平面度和垂直度等幾何量,，并且可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析,。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快,、*高測(cè)速下分辨率高,、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合,，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度,、垂直度、角度、平面度,、平行度等多種幾何精度的測(cè)量,。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè),，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析,，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,，具有極高的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù),。

SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

系統(tǒng)性能
測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
預(yù)熱時(shí)間：約6分鐘
工作溫度范圍：0~40℃
環(huán)境溫度范圍：0~40℃,，環(huán)境濕度：0~95%
存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃),，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測(cè)量
測(cè)量距離：0-40m
測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)
測(cè)量分辨率：1nm
測(cè)量*大速度：4m/s

SJ6000激光干涉儀有很多鏡組,，其價(jià)格是由所需鏡組決定的，鏡組越多,，價(jià)格越高,。