低溫等離子體是繼固態(tài),、液態(tài),、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí),，氣體被擊穿,，產(chǎn)生包括電子、各種離子,、原子和基在內(nèi)的混合體,。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低,，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài),，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子,、基等活性粒子和廢氣中的污染物作用,，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的,。一般氣體放電,，將會(huì)產(chǎn)生等離子，而這種放電現(xiàn)像就是通過某種機(jī)制使一個(gè)或者多個(gè)電子從氣體原理或分子中分離出來,，形成氣體媒質(zhì),，這種媒質(zhì)就稱為電離氣體，如果外電場(chǎng)產(chǎn)生了電離氣體,，傳導(dǎo)電流就形成了,，這種現(xiàn)象就被稱為氣體放電。而這種凈化設(shè)備的技術(shù),，就是工業(yè)廢氣處理*新的一種原理,。

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