激光干涉儀可用于精密機床,、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等的定位精度測量,、誤差修正和控制,。激光干涉儀的*大特點是在具有強大的排除干擾能力的情況下還具有非常高的精度,其分辨率可以達到納米*,從而可以大大提高制造領(lǐng)域的制造精度,。

激光干涉儀與不同光學附件結(jié)合,可以測量距離,、直線度,、垂直度平行度,、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu),安裝位置靈活,便于分析機床誤差來源;而且測量時可以在工作部件運動過程中自動采集數(shù)據(jù),，更接近機床的實際使用狀態(tài),。

與傳統(tǒng)的檢定方法相比,激光干涉儀具有較高的精度和效率,并能及時處理數(shù)據(jù),為機床誤差修正提供依據(jù)。

位置精度是機床的重要指標,目前各國機床檢定標準中都**使用激光干涉儀。因此,用激光干涉儀檢測機床各項誤差是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術(shù),。

SJ6000激光干涉儀主要技術(shù)指標：

主機

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃,，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±5%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量

測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)

測量精度：0.5ppm (0~40)℃

測量分辨力：1nm

測量*大速度：4m/s

角度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±10°

測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,，單位：″,；M為測量距離，單位：m)

測量分辨力：0.1″

平面度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±1.5mm

測量精度：±(0.2%R+0.02M²)μm (R為顯示值,，單位：μm,；M為測量距離，單位：m)

基板尺寸：180mm可調(diào),，360mm可調(diào)

測量分辨力：0.1μm

直線度測量

垂直度測量

自動精密轉(zhuǎn)臺

型號：WR50

角度測量范圍：(0~360)°

測量精度：±1″

分辨力：0.1″

*高轉(zhuǎn)速：10rpm

*高跟蹤速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直徑：112mm

通信方式：藍牙傳輸

供電方式：鋰電池

正交觸發(fā)盒

信號輸入：差分TTL(RS422)正交編碼信號,、10μApp微電流信號

輸出形式：10μs脈沖

觸發(fā)延時：0.1μs

供電電源：12VDC

尺寸重量與供電

便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm

標準配置重量：18kg

供電電源：(100~240)VAC

安全要求

激光的安全等*達到Class I要求