腔室

材料: 鋁
有效尺寸: 700 x 700 x 1200 mm.
容積：490L
艙門: 裝有可視窗口
標準樣品托盤: 8個    標準尺寸: 620 * 675 mm

真空度測量

皮拉尼真空計

真空泵

干式真空泵泵組, 抽速 480 立方米每小時

頻射發(fā)生器

根據(jù)客戶應(yīng)用需求定制

控制系統(tǒng)

PLC 可實現(xiàn)下列功能
17 英寸觸摸屏, 自動控制反應(yīng)過程;
根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝參數(shù);
測定真空泵壓力, 抽真空時間, 充氣速度, 工作壓力, 處理時間. 溫度.頻射發(fā)生器輸入電壓等指標;
監(jiān)測所有的運行指標, *證各項參數(shù)在設(shè)定范圍之內(nèi);
設(shè)定操作進入密碼.

電源

380V AC, 三相, 50Hz, 40A

反應(yīng)氣體

一個氣體輸入端口,含氣體流量控制器（MFC）

氣體輸入

直徑1/4英寸（6.45mm） 管道, 輸入壓力:1Bar

尾氣排放

直徑 28mm 輸出端口

性能

急停開關(guān); 真空泵保護鎖; 高溫保護鎖; CE認證.