反應(yīng)艙

材料：鋁

尺寸：400 x 400 x 400mm

容積：64升

艙門：裝有可視窗口

托盤：4個(gè)    尺寸：305 x 360 x 40mm

真空度測量

皮拉尼真空計(jì)

真空泵

旋片式真空泵,；30m3 /h；含真空泵油

頻射發(fā)生器

0~600W可調(diào),，100KHz發(fā)生器

控制系統(tǒng)

PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能：

自動(dòng)控制反應(yīng)過程,；

根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝參數(shù)；

測定真空泵壓力,、抽真空時(shí)間,、充氣速度、工作壓力,、處理時(shí)間,、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo),；

監(jiān)測所有的運(yùn)行指標(biāo),，*證各項(xiàng)參數(shù)在設(shè)定范圍之內(nèi)；

設(shè)定操作進(jìn)入密碼,。

電源

380V AC, 三相,，50Hz, 40A

反應(yīng)氣體

一個(gè)氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）

氣體輸入

直徑1/4英寸（6.45mm） 管道,；輸入壓力：1Bar

尾氣排放

直徑28mm 輸出端口

性能

急停開關(guān)；真空泵保護(hù)鎖,；高溫保護(hù)鎖,；CE認(rèn)證。