一、概述

sj6000雙頻激光外差干涉儀是以光波為載體,，以光波波長為單位的一種計(jì)量,、檢測儀器，通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度,、垂直度、角度,、平面度,、平行度等多種幾何量的精密測量；在相關(guān)軟件的配合下,，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測,，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度,、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量,，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析,，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,。

中圖儀器SJ6000雙頻激光外差干涉儀以技術(shù)實(shí)力為依據(jù)，在測量精度,、測量速度,、測量類型等方面，為用戶提供了更多選擇,。

二,、SJ6000功能特點(diǎn)

1、測量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心,，分辨率可達(dá)納米*；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，解決溫度,、空氣壓力、相對(duì)濕度,、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測量結(jié)果的影響,；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，*證激光長期穩(wěn)頻精度,；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),，避免干涉鏡受熱變形，*證干涉光路穩(wěn)定,。

2,、具有實(shí)現(xiàn)線性、角度,、直線度,、垂直度等幾何量的檢測功能?？梢詸z測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,；同時(shí)也能檢測運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、垂直度和直線度,；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量,。

3、可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,，滿足機(jī)床誤差修正的要求,。

4,、具有動(dòng)態(tài)測量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線,、加速度-時(shí)間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能,，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。

5,、內(nèi)置各種類國標(biāo)（GB）,、ISO（）、BS（英制）,、美標(biāo),、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn),?？梢罁?jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告,。

6,、可自動(dòng)監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度,、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù),。可選擇手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)波長進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。

7,、測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型,、生產(chǎn)單位,、出廠編號(hào)、檢定員,、送檢單位,、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄,；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word,、Excel、AutoCAD（選配）文檔,。

8,、安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜,。

三,、SJ6000技術(shù)參數(shù)

四,、SJ6000使用說明

1、 必須定人保管,，機(jī)加技術(shù)組人員專人,，專人送檢，他人不得隨意動(dòng)用,，以防損壞,，降低精度。
2,、 要設(shè)置專庫存放,，環(huán)境要求干燥、通風(fēng),、防震,、防霧、防塵,、防銹,。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓,、受凍、受潮或受高溫,，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管,。
3、 對(duì)儀器要小心輕放,，避免強(qiáng)烈的沖擊震動(dòng),，安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性，整個(gè)作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器,，防止意外發(fā)生,。
4、 應(yīng)避免在溫度變化大,、有風(fēng),、潮濕環(huán)境下測量，此時(shí)檢測結(jié)果將收到很大的影響,。
5,、 中圖所配用的筆記本為筆記本，該筆記本不得外借,，也不能安裝任何其他軟件,，防止軟件沖突和病毒，保障測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確,，以防測量數(shù)據(jù)丟失,。
6,、 測量人員在拿取干涉儀之前，需先填寫使用申請(qǐng)單,，填寫申請(qǐng)表后,，負(fù)責(zé)人需先檢查干涉儀器件完整與否，器件是否良好,。然后再得到部門簽字后,，方可使用。對(duì)其他部門人員如借用,，需填寫借用干涉儀使用申請(qǐng)單,，負(fù)責(zé)人需先檢查干涉儀器件完整與否，器件是否良好,。然后再得到部門簽字后,，方可借用。當(dāng)干涉儀使用后,，將要存庫時(shí),，負(fù)責(zé)人必須點(diǎn)清器件，且所有器件良好,，此時(shí)才能將干涉儀入庫備案,。
7、 負(fù)責(zé)人要每月對(duì)的器件進(jìn)行清點(diǎn),，并查看是否有損壞,、磨損等異常情況，將檢查報(bào)告予以備案,。

SJ6000雙頻激光外差干涉儀用途

1,、激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)位置精度的理想工具,，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線,，為數(shù)控機(jī)床的誤差，修正提供可靠依據(jù),，現(xiàn)場使用尤其方便,。
2、激光干涉儀配有各種附件,，可測量小角度,、平面度、直線度,、平行度,、垂直度等形位誤差。
3,、激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器,，可直接用于高精度,、大尺寸的動(dòng)態(tài)位移測量系統(tǒng)。
4,、激光干涉儀具有對(duì)光柵,、磁柵、線紋尺,、感應(yīng)同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能,，可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測和刻劃定位。