在微電子,、微機械,、微光學(xué)等領(lǐng)域,，白光干涉儀可以提供更高精度的檢測需求,。但白光干涉儀由于鏡頭視野較小,，要想測量物體整個區(qū)域的表面情況,，只能用自動拼接測量功能,，但耗時較多,，這時候可以用自動多區(qū)域測量功能，在樣品表面抽取多個測量區(qū)域進行測量,，從而對樣品進行評估分析,。

中圖儀器SuperViewW系列非接觸三維光學(xué)輪廓儀自動拼接功能的使用，即不管是在光滑還是粗糙,、平面亦或是異形結(jié)構(gòu),，當(dāng)必須測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域時，都可以采用自動拼接，可根據(jù)不同表面特點進行重建算法的切換,，無論何種形貌,，都可生成3D全景。

測量方法很簡單：

1.點擊XY復(fù)位,，使得SuperViewW系列非接觸三維光學(xué)輪廓儀的鏡頭復(fù)位到載物臺中心

2.將被測物放置在載物臺夾具上,，被測物中心大致和載物臺中心重合；3.確認電機連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測量條件,；4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度,，找到干涉條紋；5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍,；6.點擊選項圖標(biāo),，確認自動找條紋上下限無誤；7.點擊多區(qū)域測量圖標(biāo),，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區(qū)域形狀,；9.根據(jù)被測物形狀和尺寸，"形狀"欄選擇“橢圓平面",，X和Y方向按需設(shè)置,；10.點擊彈出框右下角的“開始"圖標(biāo)，儀器即自動完成多個區(qū)域的對焦,、找條紋,、掃面等操作。

深圳市中圖儀器股份有限公司成立十多年來,，一直堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),，歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐,，在微納米運動設(shè)計制造,、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析,、大尺寸三維空間測量,、精密傳感測頭、光柵導(dǎo)軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了設(shè)計,、制造優(yōu)勢,，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。