光學(xué)表面3D輪廓儀SuperViewW1集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙,、平面到弧面等各種表面類型,，結(jié)合采用擴展型的相移算法EPSI讓3D測量變得簡單。

產(chǎn)品性能

縱向掃描：≤10.3mm,，與選用物鏡相關(guān)

掃描幀速：50FPS/s

粗糙度重復(fù)性：0.005nm（依據(jù)ISO 25178-2012）

光學(xué)分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關(guān)

至大點數(shù)：1048576（標(biāo)準(zhǔn)）

臺階測量：準(zhǔn)確度≤0.3%,，重復(fù)性≤0.08%1σ

光學(xué)表面3D輪廓儀SuperViewW1結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米*別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn),。

產(chǎn)品特點

參數(shù)測量：粗糙度,、微觀輪廓尺寸、角度,、面積,、體積，一網(wǎng)打盡,；

環(huán)境噪聲檢測：實時監(jiān)測,，納米波動，也無可藏匿,；

雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,，讓“以卵擊石”也能安然無恙；

自動拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋,，讓3D拼接“天衣無縫”,；

雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振,，任你“地動山搖,，我自巋然不動”。

現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,，表面三維微觀形貌的測量能更真實地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量,。3d形貌輪廓儀器就是用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器?？梢赃_到納米*的檢測精度,，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。廣泛應(yīng)用于如納米材料,、航空航天,、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中，可以說只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米*粗糙度,、輪廓等參數(shù)的測量,。