技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×,，1×可選）

干涉物鏡：10×,，（2.5×，5×,，20×,，50×，100×可選）

XY平臺(tái)：尺寸320×200mm,，行程140×110mm，電動(dòng),、手動(dòng)同時(shí)具備,，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動(dòng)

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調(diào)整：±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量：準(zhǔn)確度0.3%,，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測(cè),，一鍵分析、測(cè)量速度快,、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋?zhuān)焊嘣敿?xì)產(chǎn)品信息,，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取

SuperViewW1中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),。只需要操作者裝好被測(cè)工件,，在軟件里設(shè)好視場(chǎng)參數(shù)，把物鏡調(diào)節(jié)到被測(cè)工件表面，選擇自動(dòng)聚焦后,，儀器就會(huì)主動(dòng)找干涉條紋開(kāi)始掃描測(cè)量,。然后自動(dòng)生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，完成工件表面形貌一鍵測(cè)量。

可廣泛應(yīng)用于微機(jī)電,、為納米材料,、光學(xué)加工、超精密加工,、3C電子、半導(dǎo)體等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度,、幾何輪廓等參數(shù)的測(cè)量和分析,。