中圖儀器白光干涉儀檢測儀器由照明光源系統(tǒng),，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成,。是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一,。在微電子、微機(jī)械,、微光學(xué)等領(lǐng)域,，白光干涉測量儀器可以提供更高精度的檢測需求。

白光干涉儀光學(xué)測量優(yōu)點(diǎn)

一是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件,；

二是測量速度快,，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量；

三是不必作探頭半徑補(bǔ)正,，光點(diǎn)位置就是工件表面測量的位置,；

四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果,。

中圖儀器白光干涉儀檢測儀器的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計,，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,，確保儀器在車間也能正常工作,。它的載物臺尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）,；測量的Z向范圍可達(dá)10mm（2.5X鏡頭）,，Z向的精度可高達(dá)0.1nm。

【測量小尺寸樣品時】可以測到12mm,，也可以測到更小的尺寸,，XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米*別,，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm*別,，因此可測非常微小尺寸的器件,；

【測量大尺寸樣品時】支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,，可達(dá)0.1um；

中圖儀器白光干涉儀檢測儀器采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,，可以直接從電腦上實(shí)時視頻窗口觀察樣品表面形貌,，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰,，圖像更大,，觀察更加方便。