SJ6000精密測量激光干涉儀測量過程全自動化，效率高,，具有測量精度高,、測量范圍大、測量速度快,、高測速下分辨率高等優(yōu)點?？蓽y量任意方向的回轉軸,，可測量任意角度間隔，通用性強,；可自動生成誤差曲線和補償數據,，根據不同標準自動計算定位精度結果，無需人工計算,。

產品功能

1)可實現線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量,；

2)可檢測數控機床,、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,，以及導軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；

3)可實現龍門機床雙軸同步測量；

4)可實現對機床回轉軸的測量與校準,；

5)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,，為設備誤差修正提供依據；

6)具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析,、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等,；

7)精密測量激光干涉儀支持手動或自動進行環(huán)境補償。

SJ6000精密測量激光干涉儀除了環(huán)境適應能力好,，還可以進行動態(tài)高速測量,，選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度,、線速度,、角速度等。典型情況下對于1.5米長的機器軸,，像使用激光干涉儀這樣的光學方法是好選擇,，因為傳統(tǒng)的實物基準，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內,。

量程精度

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m