SuperViewW1白光干涉儀檢測(cè)儀器可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%,，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,，操作簡(jiǎn)便，適用于各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、波紋度、面形輪廓,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

SuperViewW1白光干涉儀檢測(cè)儀器是利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ),，用于樣品表面微觀形貌檢測(cè)的精密儀器,。可以達(dá)到納米*的檢測(cè)精度,，并快速獲得被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù),。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、光學(xué)加工,、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米*別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù),。

產(chǎn)品功能

1) 一體化操作的測(cè)量與分析軟件,，操作無(wú)須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能。

2) 測(cè)量中提供自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,、批量測(cè)量,、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化功能,。

3) 測(cè)量中提供拼接測(cè)量功能,。

4) 分析中提供調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調(diào)整位置包括圖像校平,、鏡像等功能,；糾正包括空間濾波、修描,、尖峰去噪等功能,；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波,、過濾頻譜等功能,；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

5) 分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,，其中粗糙度分析包括依據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度,、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能,；幾何輪廓分析包括臺(tái)階高、距離,、角度,、曲率等特征測(cè)量和直線度,、圓度形位公差評(píng)定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等,；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能,；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，設(shè)置分析模板,，結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能，可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸精密器件的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能,。

SuperViewW1白光干涉儀檢測(cè)儀器集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn),，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單,。可測(cè)各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米*別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D,、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn),。