VT6000激光共聚焦顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,，共同組成測量系統(tǒng),，*證儀器的高測量精度。集成X,、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦等測量前工作,。

VT6000激光共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等,，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、平面度,、粗糙度,、波紋度、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,，所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡,。

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

2)設(shè)備具備自動拼接功能,，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,，即可快速實現(xiàn)批量測量功能；

4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

儀器特點

1）結(jié)構(gòu)簡單：儀器整體由一臺輕量化的設(shè)備主機和電腦構(gòu)成，控制單元集成在設(shè)備主機之內(nèi),，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動,，真正實現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設(shè)計；

2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,，對細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn),；

3）操作便捷：采用全電動化設(shè)計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計風(fēng)格,，實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果；

4）安全無憂：采用自研的電動鼻輪塔臺,，并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化,，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應(yīng)對,。

技術(shù)指標(biāo)

型號：VT6100

行程范圍：100*100*100mm

視場范圍：120×120 μm~1.2×1.2 mm

高度測量重復(fù)性(1σ)：12nm

高度測量精度：± (0.2+L/100) μm

高度測量分辨率：0.5nm

寬度測量重復(fù)性(1σ)：40nm

寬度測量精度：± 2%

寬度測量分辨率：1nm

外形尺寸：520×380×600mm

儀器重量：50kg