HET-1T多功能高精度二維材料顯微轉(zhuǎn)移系統(tǒng)

關鍵詞：二維材料,，干法,，濕法，范德華 

1. 顯微轉(zhuǎn)移操作平臺：

a. 四軸可調(diào)襯底載物平臺： XY方向行程 20mm,，轉(zhuǎn)移對位操作精度2μm,；繞z 軸手動調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)**±90°,，測微器精細調(diào)節(jié),，行程5°,，調(diào)節(jié)精度0.5°左右； 繞x軸和y 軸傾斜臺,，調(diào)節(jié)方式手動轉(zhuǎn)輪,，臺面厚度20mm，傾斜角度±2°,。

b. 襯底載物平臺加熱系統(tǒng)：樣品臺加熱**溫度為240 ℃,，使用 PID 溫度控制器，溫度控制穩(wěn)定性小于±1℃（穩(wěn)定性≦±0.1℃）,，帶加熱開關,。

c. 四軸可調(diào)載玻片移動平臺：載玻片 XYZ三軸可調(diào)，80mm高穩(wěn)定性臺面,，行程25mm,，測微絲桿控制,；Z軸為29mm直徑百刻線微分頭,，便于精細升降操作；樣品送入手動旋轉(zhuǎn)臺,，臺面直徑100mm,，粗調(diào)旋轉(zhuǎn)范圍360°，細調(diào)旋轉(zhuǎn)范圍±5°,，定位精度1~ 2°,；

d. 支持真空自動吸附樣品，確保轉(zhuǎn)移過程中目標樣品位置精確固定,；真空泵電磁閥控制,，按鈕控制是否吸附樣品；真空泵：25L-35L/min 流量,；

e．雙邊載玻片夾具：輔助夾具片2片,，夾具片75*25*1.5mm；

f．集成控制機箱：集成機柜包括電源,、顯微鏡LED控制,、溫度控制、真空開關控制,，工作電壓220V,，**輸出功率800W,；

2. 顯微成像光路系統(tǒng)：

a.  單筒顯微鏡：變倍比1:6.5，變倍范圍0.7X-4.5X,，標準工作距離90mm,，分辨率63-180lp/mm，95mm超長工作距離20倍物鏡,，綜合**放大倍率850~900倍,；雙固定位設計，高倍放大下圖像無明顯抖動,。

b. 白色LED照明：同軸照明系統(tǒng),，選用高亮度單顆1W LED，色溫5500K,，照明均勻,；LED照明控制器90V-250V寬電壓,1W LED控制器，可調(diào)光,；

c. 顯微相機：1920x1080高靈敏度CMOS傳感器,，30fps速度保存；支持HDMI相機直接輸出到顯示器,；曝光時間0.4ms~999ms,，自動白平衡；支持WIFI數(shù)據(jù)傳輸,；提供顯微相機操作軟件,，支持電腦控制，可軟件測量顯微樣品尺寸及角度,；工作溫度-10~ 50攝氏度,。

d. 顯微觀察支架：一體式高穩(wěn)定性支架，長寬高240mm*100mm* 100mm,，重量20kg,，支持沿 xy方向 50mm行程，可大范圍調(diào)節(jié)顯微鏡觀察位置,；

e. 顯示器：24英寸1920*1200全高清專業(yè)顯示器,。